三轴高精度磁测系统

三轴高精度磁测系统

集成多自由度无磁驱动与自动化分析软件,实现样品三轴磁场的全自动采集、成像与分析。

测量维度
三轴
驱动系统
多自由度无磁
分析方式
自动化软件
三轴高精度磁测系统

三轴高精度磁测系统

依托磁屏蔽腔体和高精度磁测传感器,集成多自由度无磁驱动系统和自动化分析软件,实现样品磁场自动化采集和分析。

运动维度:水平、垂直位移(X,Y,Z)
移动量程:X,Y,Z 轴均覆盖 ±100 mm
检测区内剩磁:≤1 nT
磁场测量灵敏度:≤10 fT/Hz½
可定制:核心参数可基于需求定制化设计

核心功能

统筹采集、成像与数据输出的完整测控能力

双模式磁场采集控制

统筹设备运动与数据采集,配备连续扫描、定点稳态采样两种测试模式,实时存储磁场数值与时域、频域曲线。

多维磁场成像

支持自定义被测区域,自动生成 2D 平面、3D 立体磁场分布云图。

标准化数据输出

测试数据一键导出规范报表与原始数据文件,便于归档溯源。

多坐标系扫描检测

兼容 XYZ 直角三轴扫描和圆柱坐标扫描,适配异形工件、圆筒类构件磁场测绘。

灵活组态与校准管控

支持探头机械校准、软件自定义急停开关、配置文件编辑点位阵列,灵活适配多样化测试点位需求。

核心优势

磁屏蔽平台加持,三维全域还原磁场矢量分布

磁屏蔽优势

集成定制化坡莫合金磁屏蔽平台,大幅削弱地磁场、环境杂磁影响,测试误差远优于普通无屏蔽测试设备。

三维全域测量

区别单轴设备,完整还原磁场矢量分布,不漏测横向、侧向磁场。

高精度低漂移

高灵敏传感搭配算法补偿,微弱磁场测量稳定性强。

集成易用

数字化交互界面,简单培训即可上机操作。

应用场景

覆盖芯片封装、半导体标定与工装质检的多元需求

芯片封装检测

测绘芯片、引线框架剩磁分布,规避杂磁引发器件电性异常

磁传感类半导体芯片标定测试

采用定点 / 连续扫描模式,完成全空间磁场扫描,绘制芯片感应区域三维磁场图谱,校验产品传感精度

工装来料质检

探针台、晶圆载具剩磁筛查,严控制程不良隐患

与曦曙同行,见证前沿量子技术赋能千行百业,共赴产业新未来

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